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德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF
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产品: 浏览次数:10德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF 
品牌: mlase
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最后更新: 2023-02-27 16:20
 
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德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF

 

 

 

 

常用型号:

MLI-200

MLI-500

MLI-1000

参数介绍:

参数

ArF

ArF

ArF

KrF

KrF

KrF

波长(纳米)

193

193

193

248

248

248

脉冲重复频率(赫兹)

200

500

1000

200

500

1000

稳定的脉冲能量 (mJ)

6

6

6

10

10

10

稳定平均功率 (W)

1,2

3,0

6,0

2,0

5,0

10

脉冲稳定性(标准偏差%)

2

2

2

2

2

2

光束宽度(FWHM,VxHmm)

6×3

6×3

6×3

6×3

6×3

6×3

光束发散(FWHM,VxHmm)

2×1

2×1

2×1

2×1

2×1

2×1

脉冲长度

5-10

5-10

5-10

5-15

5-15

5-15

德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF